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真空鍍膜加工是相對于上述濕法鍍膜而發(fā)展起來的一種新型鍍膜技術(shù)，通常真空鍍膜加工稱為干法鍍膜技術(shù)。真空鍍膜技能的存在保障了集成電路的高度集成、功能、可靠性、生產(chǎn)效率等。 利用世界上先進的磁控濺射離子鍍膜和多弧離子鍍膜工藝設(shè)備，并以國際專家為基礎(chǔ)進行工藝創(chuàng)新。
在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，樣品蒸發(fā)后的儲存、制備和測試是在手套箱中的高純度惰性氣體氣氛中進行的。真空鍍膜的應(yīng)用，簡單理解就是在真空環(huán)境下，采用蒸發(fā)、濺射及后續(xù)冷凝的方法，在金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體及塑料件等物體上涂覆金屬膜或涂層。
